为使生产过程重复性和一致性保持理想状态,现代等离子体应用需要电子商务平台的RF功率调节和控制。确保输入到真空室的射频功率的准
确性和重复性的关键部分就是射频发射机的校准、操作规程和日常监测。
BIRD提供超稳定,低VSWR的,针对发射机输出功率配合BIRD精密功率传感器进行快速电子商务平台测量的负载。当运作在额定区域时,
Dummy Load负载VSWR的总变化范围能够保持在0.1dB以内。
负载针对不同时间长度校准,重复性极佳且无需预热。这样能够极大减小该项校准的误差,控制一个更关键的过程变量稳定。
模组液冷负载系列是一款集成式水循环冷却负载,需要115伏或230伏的电压输入。模组负载能够有效地将高达25至50kW功率等级
的射频能量耗散,支持频率范围延展至900MHz。负载芯固定在模组中心。负载模组结构紧凑,提供联锁控制电路提供故障中国商机商保护,可
在系统故障发生时保护发射机等重要系统单元。
●.结构紧凑
●一体式水循环模组系统
●●内置护锁开关,保证RF中国商机商环境
●●配置有承重移动运输系统
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