光学形貌仪使用特性

 光学形貌仪进行表面粗糙度和表面形貌测量时，比探针式轮廓仪有G低的成本，但同样使用当今较高分辨率光学轮廓仪采用的白光干涉（WSI）及相移干涉（PSI）测量技术，垂直分辨率可达次纳米级。光学形貌仪的直观软件包括表面粗糙度，形状和台阶高度的测量，在数秒内，您可以获得平面和曲面表面形貌测量所有常见的粗糙度参数。也可以选择拼接功能软件来组合多个影像以提供大面积的测量。