GSL-1800X-ZF4蒸发镀膜仪是一款高真空的蒸发镀膜仪,特别适合蒸镀对氧较敏感的金属膜(如Ti、Al 、Au等)和小分子的有机物。本机设有4个蒸镀加热舟,每个加热舟都可独立进行蒸镀,加热舟上方有一个可旋转挡板,当其中一个加热舟进行蒸镀时挡板将其它三个钨舟遮住,以防蒸镀材料之间相互污染。若更改部分配置也可实现对有机材料的蒸发镀膜,可满足发光器件及有机太阳能电池方面的研究要求,是一款镀膜效果理想且性价比较高的实验设备。GSL-1800X-ZF4蒸发镀膜仪腔底部配有5个水冷电极,在工作过程中可有效保护电极温度不会因温度过高而熔化,进而损坏电极。该机采用金属腔室,具有*的真空度,真空度可达到5.0×10-7torr,样品台可对样品进行加热,加热温度为室温-500℃,是进行高真空蒸发镀膜的设备。
主要特点:
1、真空控制单元全部集合在一个控制盒内。
2、采用独立的蒸镀电流控制器,操作方便快捷。
3、真空腔体设有1个KF40旁抽阀(直接与前级机械泵相连,提企业电子商务网站率)、1个CF150闸板阀(直接与分子泵相连)、1个KF16法兰(安装电阻规)、6个CF35法兰(1个安装电离规,1个安装2芯电极,1个安装膜厚仪)3个备用。
4、在腔体底部配有5个水冷电极,可支持4个蒸镀加热舟。
5、样品台安装在腔体的顶部。
6、腔内可装高分辨率的薄膜测厚仪,膜厚测量分辨率(铝)为0.1Å。
蒸发镀膜
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