俄歇电子能谱仪AES

俄歇电子能谱仪AES是一台设计独特的高性能的俄歇电子能谱（AES）仪器。该设备能分析纳米级特征区域，超薄薄膜和多层结构材料表界面的元素态和化学态信息。作为高空间分辨率，高灵敏度和高能量分辨率的俄歇电子能谱仪， PHI 710可以为用户提供纳米尺度方面的各种分析需求。

特点

SEM分辨率≤ 3 nm, AES分辨率≤ 8 nm

在俄歇能谱的采集分析过程中，包括谱图，深度剖析及元素分布成像，首先需要在SEM图像上定义样品分析区域，同时要求束斑直径小且稳定。PHI 710 SEM图像的空间分辨率小于3 nm，AES的空间分辨率小于8 nm（@ 20 kV, 1 nA），如下图所示。

image.pngPHI 公司电子枪和同轴筒镜分析器同轴的几何设计，具有灵敏度高和各个角度均可收集信号的特点，满足表面粗糙不平整样品对俄歇分析发布信息网表征能力的需求。如上图所示，所有俄歇的数据都是从颗粒的各个方向收集而来，成像没有阴影。若设备配备的不是同轴分析器，则仪器的灵敏度会降低，并且成像有阴影，一些分析区域会由于位置的原因，而无法分析。如果想要得到高灵敏度，只能分析正对着分析器的区域。如下图所示，若需要对颗粒的背面，颗粒与颗粒之间的区域分析，图像会有阴影。

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俄歇能谱仪的化学态成像

图谱成像

PHI 710能从俄歇成像分析的每个像素点中提取出谱图的相关信息，该功能可以实现化学态成像。

高能量分辨率俄歇成分像

下图是半导体芯片测试分析，测试的元素是Si。通过对Si的俄歇影像进行线性免费电子商务小二乘法拟合（LLS），俄歇谱图很清楚的反映出三个Si的不同化学态的区域，分别是：单质硅，氮氧化硅和金属硅，并且可以从中分别提取出对应的Si的俄歇谱图。

俄歇电子能谱仪AES

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https://www.chem17.com/st428245/erlist_2316311.html