X射线光电子能谱仪XPS

X射线光电子能谱仪XPS配置全新设计的能量分析器，能够实现从微区到大面积的高灵敏度分析。同时还具备高精度的角度接受器、独特的荷电中和技术以及多样化的选配方案等特性，能够提供极限深度分辨率。所有的这些特性都与免费电子商务新的自动化技术相结合，使得VersaProbe 4能够集高灵敏度、高可靠性和高可扩展性等优势于一体。

作为一种重要的表面分析方法，广泛应用于固体材料表面的元素组分和化学态的研究，例如电池材料、催化剂、集成电路、半导体、金属、聚合物、陶瓷和玻璃等，可满足从研发到失效分析的广泛分析需求。

采用全新设计的高灵敏度分析器，灵敏度是上一代的2倍，具有更低的检测限，能够实现从微区(<10 ?m)到大面积(>1 mm)的高灵敏度化学态分析。

独特的微聚焦扫描X射线和 SXI影像，通过类似SEM的SXI影像可以作为样品导航，实现seo推广精准地定义微区分析位置。

*SXI : 扫描X射线激发的二次电子影像。

X射线光电子能谱仪XPS

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