三维形貌仪校准方法

三维形貌仪通过光学捕获多个表面图像，在XYZ轴上将图像拼接在一起并量化数据以计算粗糙度、台阶高度、薄膜厚度、曲率、弯曲度和缺陷来表征三维表面形貌。使用传统的二维光学显微镜，实现这些是不可能的。有多种不同类型的技术可用于创建表面的二维和三维图像，产品使用它们进行组合来测量三维图像表面。

 

三维形貌仪的几大校准方法：

1.三维形貌校准：

这一校准都和形貌测量的“高度”结果相关，所以称为三维校准。主要包括对干涉物镜参考面形貌误差的标定；以及使用标准台阶块对台阶高度测试精度校准。

2.二维光强校准：

这一校准和成像视场范围内的“光强”信号相关。设备有一些功能，可以增强用户对样品表面观察效果。比如在某观测模式下，可以自动去除视场中黑白条纹，更清楚地观测表面纹理；真彩模式可以复现表面彩色信息。

由于以上功能相关标定都只涉及“光强”，不涉及到形貌高度，所以称为二维光强校准。

3.横向校准：

这一校准是为标定在当前设置下，每个像素在横向上代表的尺寸大小。

 

三维形貌仪很多测试结果和分析设置，如沟槽宽度，孔径尺寸，坡度斜率，空间滤波，拼接测量，都基于或和横向尺寸相关。对于这些结果和分析，横向尺寸的标定是至关重要的。

 

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