Aera创建于美国，是一家提供流体测量和控制产品及全套解决方案的跨国高科技企业，拥有研发及运营团队，掌握行业先进的流体测量及控制技术，专注于高科技工业领域的广泛应用，包括半导体、新能源、 新材料，平板显示、数据存储、工业镀膜、食品及化工分析等。Aera 的产品包高性能的气体质量流量控制仪器及测量仪器，气体工艺整体解决方案和服务支持方案。Aera始终致力于为客户开发优化的解决方案及相关产品，客户包括但不限于原始设备制造商（OEM）和终端用户（END-USER）。
气体质量流量控制器性能：
数字和模拟两用型控制
快速的响应
高精度
高度的可靠性和稳定性
易于整合——标准连接器和尺寸
规格
FC-DR980C
Full Scale Range (N2 Eqv)
单气体2-5000sccm
Control Valve Type 阀门类型
常开式或常闭式螺线管 (NC or NO)
Fitting
接头
1/4"VCR or 1/4"Swagelok兼容
IGS 底部/表面贴装(c或w密封)
Seals 密封
橡胶 Viton金属
Response Time 响应时间
≤1Sec(超过满量程10%)
Accuracy
精度
25%-seo推广:≤±1%S.P (满量程25%到seo推广)
2%-25%: ≤ ±0.25%F.S (满量程2%到25%)
Linearity 线性度
≤ 满量程的±0.5%
Repeatability 重复性
≤ 满量程的±0.15%
Differential Pressure 压差
7 - 40psi
Leak lntegrity 漏率
Max:1x10-11Pa.m3/sec (He)
Control Range 控制范围
满量程的2-seo推广
Max Operating Pressure 高操作压力
70psi
Proof Pressure 承受压力
Z大值140psi
Communication Type 通讯模式
模拟0-5V / RS485
Input Power
输入功率
+15VDC ±2% at 100mA
-15VDC ±2% at 200mA
Command Signal 输入模拟信号
模拟信号0-5 VDC(输入阻抗>1MΩ)/数字信号 0-seo推广
Output Signal 输出模拟信号
模拟信号0-5 VDC(输入阻抗>2KΩ)/数字信号 0-seo推广
Power Consumption 功耗
4.5W
Temperature Range 温度范围
5-45 Deg C
Materials 材料
316LSS，316SS，PTFE
Weight 重量
1.2kg
更多详情咨询：
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