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扫描电子电镜一般都配有波谱仪或者能谱仪。波谱仪和能谱仪是不能互相取代的，只能是互相补充。
波谱仪是利用布拉格方程2dsinθ=λ，从试样激发出X射线经适当的晶体分光，波长不同的特征X射线将有不同的衍射角2θ。波谱仪是微区成分分析的有力工具，它的波长分辨率是很高的，但是由于X射线的利用率很低，所以它使用范围有限。
能谱仪是利用X光量子的能量不同来进行元素分析的方法，对于某一种元素的X光量子从主量子数为n1的层跃迁到主量子数为n2的层上时，有特定的能量ΔE=En1-En2。能谱仪的分辨率高，分析速度快，但分辨本领差，经常有谱线重叠现象，而且对于低含量的元素分析准确度很差。
下面咱们来解下扫描电子电镜块状试样的制备方法：
1、非导电性材料：试样的制备也比较简单，基本可以像导电性块状材料试样的制备一样，但是要注意的是在涂导电银浆的时候一定要从载物盘一直连到块状材料试样的上表面，因为观察时候电子束是直接照射在试样的上表面的。
2、导电性材料：主要是指金属，一些矿物和半导体材料也具有一定的导电性，这类材料的试样制备较简单。只要使试样大小不得超过仪器规定（如试样直径为φ25mm，厚不超过20mm等），然后用双面胶带粘在载物盘，再用导电银浆连通试样与载物盘，等银浆干之后就可放到该仪器中直接进行观察。
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